장비

팹에서 공정을 수행하는 기계. 한 대에 수백억 원인 노광기처럼 설비투자 규모가 산업 사이클을 만든다.

웨이퍼 위에 원자 단위 회로를 그리고, 깎고, 쌓고, 검사하는 모든 작업은 사람 손이 아니라 전용 기계가 담당한다. 노광기가 빛으로 회로 패턴을 새기면 식각 장비가 불필요한 막을 깎아내고, 증착 장비가 새 박막을 입히고, 계측·검사 장비가 결과물이 설계대로 나왔는지 확인하는 식으로 수백 대의 장비가 순서대로 연결되어 하나의 칩을 완성한다. 팹 신설이나 증설 뉴스에서 '장비 반입'이라는 표현이 나오면 건물 골조가 끝나고 실제 생산 라인을 채우는 단계에 들어섰다는 뜻이고, 반대로 경기가 꺾이면 팹들이 가장 먼저 줄이는 것도 이 장비 발주다. 그래서 장비 업체들의 수주·매출 흐름은 반도체 경기를 가늠하는 선행지표로 자주 인용된다. 흔히 헷갈리는 점은 장비와 소재를 같은 카테고리로 묶는 것인데, 장비는 오래 두고 반복해서 쓰는 기계 설비이고 웨이퍼·가스·화학액처럼 공정마다 소모되는 투입물은 별도로 소재라고 구분해 부른다.