장비·소재·부품SK하이닉스, 넥스틴 웨이퍼 검사장비 도입 — 전공정 검사 능력 확충
넥스틴이 SK하이닉스와 웨이퍼 검사 시스템(Wafer Inspection System) 공급 계약을 체결했다고 6일 공시했다. 계약 금액은 약 254억4000만원으로 넥스틴의 지난해 매출 669억원의 38.02%에 해당한다. 공급 장비는 이지스 시리즈로, 반도체 전공정에서 미세 회로가 형성된 웨이퍼 표면에 빛을 비춰 CMOS 센서로 회로 이미지를 촬영하는 2D 이미징 검사 장비다. 촬영한 이미지를 정상 패턴과 비교해 결함을 찾아내는 방식으로 동작한다.
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