"랑다오실렉"

중국 랑다오실렉, EUV 광원 시제품 공개 — 노광장비 국산화 걸음마

중국 스타트업 랑다오실렉이 상하이에서 열린 중국국제산업박람회에서 EUV 광원 시제품 'FlintNano LPP-OXXO'를 시연했다. 이 장비는 레이저 생성 플라즈마(LPP) 방식으로 15W 이상의 EUV 출력과 2% 이상의 변환 효율을 낸다고 밝혔다. 회사 측은 부품의 90%가 중국산이며 100시간 이상 연속 가동이 가능하다고 설명했지만, 실제 점등 시연은 하지 않았다. 트렌드포스에 따르면 이 기술이 상용화되기까지는 3~5년이 더 필요하다. 보도에서는 EUV 수집·조명 광학계, 레티클·웨이퍼 스테이지 등 완전한 노광장비를 구성할 공급망이 중국에 아직 없다는 점도 지적됐다.