장비·소재·부품브이엠 CCP 산화막 식각 장비, 국책과제 평가 통과 — 퀄 테스트 별도
브이엠이 산업통상부 주관 '차세대 300mm 고종횡비 공정 산화막 건식 식각 장비 개발' 국책과제 평가에서 '연구 개발과제 우수 완수' 판정을 받았다. 이는 정량적 목표 달성과 공인인증평가, 기본 성능 검증을 모두 통과했다는 의미다. 해당 과제는 반도체 제조용 고성능 산화막 식각 양산 장비를 설계, 구축하는 것이다. 브이엠은 올해 범용 장비부터 국산화하고 연내 퀄 테스트에 돌입할 계획이다.
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