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LPKF, 유리기판용 레이저 식각장비 아시아에 공급 추진
독일 레이저 장비업체 LPKF가 아시아의 한 첨단 패키징 제조업체로부터 유리기판 양산용 '넥사 LIDE' 시스템 구매의향서(LOI)를 받았다. 수주 규모는 수백만유로 중반대로, 조만간 정식 발주(PO)로 이어질 것으로 LPKF 측은 기대하고 있다. 해당 고객사는 이미 넥사 LIDE 장비를 운용 중인 곳으로, 정확한 기업명은 공개되지 않았다. 넥사 LIDE는 LPKF가 독자 개발한 레이저 유도 심부 식각(Laser Induced Deep Etching) 기술을 적용한 장비다.
장비·소재·부품램리서치-월덱스, 식각장비 상부전극 특허 무효 공방
램리서치와 월덱스가 반도체 식각장비 상부 전극 특허(등록번호 2556016)를 두고 특허심판원에서 무효심판 구술심리를 진행했다. 월덱스는 상부 전극과 기판 사이 상관관계가 청구항에 명확히 기술되지 않아 특허성을 인정하기 어렵다고 주장했다. 램리서치는 해당 특허가 3D 낸드 등 최신 반도체 제조를 위한 고종횡비 식각 공정에 필요한 기술이며, 월덱스가 제시한 비교발명과는 다르다고 반박했다. 램리서치는 심판 과정에서 특허 일부를 정정했으며, 심판은 신속심판으로 진행 중이다. 앞서 월덱스는 램리서치의 다른 특허(무선주파수 접지 복귀 장치)에 대해 2025년 12월 무효 심결을 받았고, 램리서치는 2026년 1월 특허법원에 심결취소소송을 제기했다.