장비·소재·부품아이에스티이 시리우스2, SiCN 박막 트윈타입 6챔버로 생산성 50% 향상
아이에스티이가 2세대 탄질화규소(SiCN) 플라즈마 강화 화학기상증착(PECVD) 장비 '시리우스2'의 개발을 지난 6월 완료했다. 트윈 타입으로 6개의 공정 모듈(PM) 챔버를 적용해 웨이퍼 한 쌍을 동시에 이송·처리할 수 있으며, 4개의 PM 챔버를 탑재한 싱글 타입이던 1세대 대비 생산성을 높였다. 플라즈마를 이용해 저온에서도 SiCN 박막을 균일하게 형성하는 방식이다. 업계에 따르면 이번 장비 개발로 외산 장비와의 경쟁이 본격화될 전망이다.
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