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이에스티 유리기판·OLEDoS 확장, 코스닥 상장 추진
반도체·디스플레이용 부품 기업 이에스티가 금융위원회에 증권신고서를 제출하고, 소재·부품·장비 기업 기술특례 방식으로 코스닥 상장(IPO)을 추진한다고 21일 밝혔다. 대표 주관사는 대신증권이며, 공모주식 220만주를 전량 신주로 발행할 계획이다. 다음달 14일부터 20일까지 기관투자자 대상 수요예측을 거쳐 공모가를 확정하고, 22일부터 23일까지 일반청약을 진행한다. 회사는 유리기판과 올레도스(OLEDoS) 분야로 사업 영역을 확대하겠다는 계획도 밝혔다.
아이에스티이 시리우스2, SiCN 박막 트윈타입 6챔버로 생산성 50% 향상
아이에스티이가 2세대 탄질화규소(SiCN) 플라즈마 강화 화학기상증착(PECVD) 장비 '시리우스2'의 개발을 지난 6월 완료했다. 트윈 타입으로 6개의 공정 모듈(PM) 챔버를 적용해 웨이퍼 한 쌍을 동시에 이송·처리할 수 있으며, 4개의 PM 챔버를 탑재한 싱글 타입이던 1세대 대비 생산성을 높였다. 플라즈마를 이용해 저온에서도 SiCN 박막을 균일하게 형성하는 방식이다. 업계에 따르면 이번 장비 개발로 외산 장비와의 경쟁이 본격화될 전망이다.