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머크, 충북 음성에 몰리브덴 신소재 공장 개소 — 낸드용 전구체 공급
독일 화학기업 머크가 22일 충북 음성에 신규 몰리브덴(MoO2Cl2) 생산설비를 개소했다. 벤자민 하인 머크 일렉트로닉스 CEO는 이 설비가 향후 5년 내 반도체 소재 수요 급증에 대응하기 위한 선제 투자라고 밝혔다. 몰리브덴은 반도체 증착 공정에 쓰이는 차세대 전구체 소재로, 기존 전구체인 텅스텐보다 비저항이 낮아 칩 성능 향상에 유리하다. 빙 한 머크 일렉트로닉스 박막 소재 비즈니스 수석부사장은 몰리브덴이 3D 낸드에 먼저 채택됐으며 향후 D램과 첨단 로직 반도체로 채택이 확대될 것이라고 말했다. 머크의 한국 내 누적 투자 규모는 8억 2000만 유로에 달한다.

머크, 몰리브덴 전구체 적용을 D램·로직까지 확대
독일 머크가 낸드플래시에 적용 중인 이산화이염화몰리브덴(MoO₂Cl₂) 전구체를 D램과 로직 반도체로 확대 적용한다. 이를 위해 충북 음성에 전구체 생산시설을 구축하고 안산사업장의 소재 공급 시스템과 연계할 계획이다. 빙 한 머크 일렉트로닉스 박막 소재 사업 수석부사장은 10월 21일 서울 강남에서 열린 기자간담회에서 몰리브덴 적용을 낸드에서 시작해 D램과 로직으로 확대할 것이라고 밝혔다. 그는 구조가 작아질수록 구리와 텅스텐의 전기전도도 문제가 생겨 몰리브덴 적용이 늘어날 것이라고 설명했다. 몰리브덴은 금속 전극과 배선에 쓰이는 구리·텅스텐을 대체할 소재로 언급됐다.