장비·소재·부품큐빅셀, 유리기판 TGV 홀로그래피 검사 — 크랙 미세검출로 수율 관리
큐빅셀이 반도체 유리기판의 핵심 요소인 글라스관통전극(TGV) 전주기를 검사할 수 있는 장비를 개발했다고 14일 밝혔다. 독자 개발한 홀로그래피 기반 광학 기술을 활용해 TGV 결함뿐 아니라 레이저 가공(개질), 최종 비아홀 형성까지 전 공정을 파악할 수 있다. 유리기판 TGV 내부에 발생하는 미세 균열(마이크로 크랙)을 마이크로미터 단위로 검출할 수 있는 설비도 함께 개발했다.
전자신문