장비·소재·부품PVTW 특성평가, ATE와 SLT 결합해 워크로드 변수 측정
반도체 업계에서 공정·전압·온도(PVT) 중심의 전통적 특성평가에 워크로드를 추가한 'PVTW' 개념이 제시됐다. 이는 자동검사장비(ATE)의 전기적 정밀 제어와 시스템레벨테스트(SLT)의 실제 동작 환경을 결합한 하이브리드 구조로, ATE 단독·SLT 단독·결합 모드 세 가지로 동작한다. 예시로 ATPG 기반 SHMOO에서는 0.72V까지 정상 동작하던 소자가 SRAM 집약적 워크로드 조건에서는 0.76V부터 오류를 보이는 등, 워크로드에 따라 전압 여유도가 달라지는 현상을 포착할 수 있다. 이를 통해 워크로드와 서브시스템, 전기적 마진을 연결 지어 특성평가하고 양산 이후 발생하는 간헐적 오류의 원인을 분석하는 데 활용할 수 있다.
Semiconductor Engineering영문 원문