"MOCVD"

AMEC, SK키파운드리와 매그나칩에 전력반도체용 MOCVD 테스트

중국 장비기업 AMEC(중웨이반도체)가 SK키파운드리, 매그나칩과 전력반도체용 핵심 제조장비 테스트에 돌입한 것으로 16일 파악됐다. 테스트 대상은 유기금속화학증착(MOCVD) 장비로, 탄화규소(SiC)·질화갈륨(GaN) 등 차세대 전력반도체의 박막 형성 공정에 주로 쓰인다. AMEC은 중국 MOCVD 시장에서 점유율이 높지만 한국 시장 입지는 미미했고, 삼성전자·SK하이닉스의 국내 팹에는 장비를 공급하지 못하고 있다. 다만 SK하이닉스가 인텔 낸드 사업부 인수로 양수한 중국 다롄 공장에는 AMEC 제품이 납품되고 있으며, SK키파운드리는 올 상반기 신규 고객사로부터 1200V SiC 모스펫 개발을 수주한 바 있다.