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램리서치-PSK 베벨 에처 특허소송, 10월 선고
램리서치가 피에스케이(PSK)를 상대로 제기한 베벨 에처 장비 특허침해소송의 6차 변론기일이 9월17일 서울중앙지방법원 제62민사부에서 열렸다. 재판부는 변론을 종결하고 10월 판결을 선고하기로 했다. 램리서치는 2021년 피에스케이의 베벨 에처가 자사 특허를 침해했다며 손해배상금과 장비 폐기를 요구했고, 피에스케이는 특허무효 소송으로 맞대응했다. 이날 재판에서는 핵심부품 도면 일부가 공개된 것으로 전해졌다.
장비·소재·부품램리서치 프로세스챔버 특허 무효 확정 수순, PSK 소송 쟁점 축소
특허심판원은 램리서치의 베벨 에처 관련 '프로세스 챔버' 특허(등록번호 1468221)에 대해 무효 심결을 내렸다. 이 특허는 PSK가 2021년 SK하이닉스에 베벨 에처를 공급하자 램리서치가 제기한 특허침해소송에서 다투던 특허 중 하나로, 2026년 8월 서울중앙지법 변론기일에서 램리서치가 이미 침해 주장을 철회한 상태였다. 앞서 특허법원이 2024년 8월 이 특허를 무효로 판결하며 특허심판원에 환송했고, 램리서치의 정정심판 청구도 2026년 8월 기각됐다. 이에 따라 이번 무효 심결이 확정되더라도 전체 분쟁에 미치는 영향은 크지 않으며, 소송에서는 참엔지니어링의 '플라즈마 에칭 챔버' 특허(등록번호 1249247)만 쟁점으로 남았다.