후면전력공급

전원 배선을 웨이퍼 뒷면으로 옮기는 기법. 앞면을 신호 배선에 더 쓸 수 있어 전압 강하와 혼잡을 함께 줄인다.

트랜지스터가 미세화될수록 신호선과 전원선이 앞면의 한정된 배선층을 두고 경쟁하게 되는데, 전원선은 저항을 낮추려 굵게 그어야 해서 배선 자원을 많이 잡아먹고 회로 말단까지 가는 동안 전압 강하도 커진다. 이를 풀기 위해 웨이퍼를 뒤집어 얇게 갈아낸 뒤 트랜지스터 아래까지 닿는 전용 비아를 뚫고, 전원 배선망 전체를 뒷면으로 옮겨 앞면은 신호 배선만 남긴다. 파운드리의 표준셀 라이브러리 개편 문서나 배치·배선(P&R) 툴에서 전원망 규칙을 앞면·뒷면으로 나눠 지정할 때, 그리고 셀이 뒷면과 직접 맞닿는 전원 접촉 구조를 설명할 때 이 용어를 마주치게 된다. 흔히 오해하는 지점은 '후면'이라는 말 때문에 신호까지 뒷면으로 옮긴다고 생각하는 것인데, 실제로는 전원만 이동하고 신호 경로는 그대로 앞면에 남는다. 또한 웨이퍼를 극도로 얇게 가공하고 앞뒤를 정밀하게 정렬해야 하므로, 도입 자체가 별도의 공정 검증을 요구하는 난도 높은 변경이라는 점도 함께 기억해둘 만하다.