"검사장비"
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엠아이티, 기술특례로 코스닥 입성 도전 — SFSAT 초음파 검사장비
반도체 검사·계측장비 기업 엠아이티가 한국거래소에 코스닥 상장예비심사청구서를 제출했다. 삼성증권을 대표 주관사로 기술특례 방식 상장을 추진하며, 지난 7월 기술성 평가에서 A등급을 받았다. 2017년 설립된 엠아이티는 여러 초음파 탐침을 동시 구동해 처리량을 높인 자동 초음파 검사 장비 'SFSAT'을 자체 개발했다. 이 장비는 적층형 웨이퍼와 칩, 반도체 패키지, 기판 등을 고속으로 전수검사하는 데 쓰인다.
코셈, HBM 검사모듈 공급 시작 — PLP·유리기판 장비도 준비
SEM(주사전자현미경) 전문기업 코셈이 반도체 첨단 패키징용 비파괴 검사 장비 시장에 진출한다. 회사는 고대역폭메모리(HBM) 분석용 모듈 공급을 시작했으며, 향후 패널레벨패키징(PLP)과 유리기판 전용 자동화 검사 장비 라인업도 선보일 계획이다. 이준희 코셈 대표는 반도체 단면을 정밀 연마하는 이온 빔 폴리셔를 국내 장비사와 협업해 개발했으며, 이미 주요 반도체 제조사에 공급해 양산성 평가를 받고 있다고 밝혔다. 코셈은 2007년 설립된 국내 SEM 개발·제조 기업이다.
영우디에스피, WLP 검사장비 파운드리 공급 — OSAT 발판 반도체 진출
영우디에스피가 국내 중견 파운드리 기업의 양산라인에 웨이퍼 레벨 패키지(WLP) 검사장비를 소량 공급하고 2~3개월간 실증 평가에 들어간다. 업계에 따르면 이 장비는 국내 후공정 외주(OSAT) 기업 양산라인에서 장기간 검증을 거친 것으로 전해졌다. 실증 이후 양산 공급 협상이 진행될 것으로 보인다. 그동안 디스플레이 장비 중심이었던 영우디에스피의 사업이 반도체 분야로 확대될 것으로 기대된다.
인텍플러스, 중국에 반도체 검사장비 60억 공급
인텍플러스는 중국 선전에 본사를 둔 반도체 장비 대리점 아큐테크와 반도체·기판 검사 장비 공급 계약을 체결했다고 9일 공시했다. 계약 금액은 약 60억8200만원으로, 지난해 매출의 6.78%에 해당한다. 공급 장비는 반도체 패키지·칩 검사 장비군 'iPIS' 시리즈와 반도체 중간 공정(미드엔드)·기판 검사 장비군 'iSIS' 시리즈다.
자이스코리아 검사장비, PCB 넘어 반도체 패키징까지 확장
자이스코리아가 KPCA 쇼 2026에 참가해 PCB·반도체 패키징용 품질 검사 솔루션을 소개했다. 부품 단위 3D 형상 측정, PCB·반도체 패키지 내부 비파괴 분석, 마이크로·나노 단위 정밀 분석을 지원하는 제품군을 전시했다. 현장 부스에서는 스마트줌 5, 악시오 이미저, LSM 900 등 광학 현미경 자동화 검사 장비를 활용한 시연을 진행했다. 해당 솔루션은 시료의 이미지 획득부터 분석, 결과 관리까지 반복 작업을 지원한다.