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램리서치-PSK 베벨 에처 특허소송, 10월 선고
램리서치가 피에스케이(PSK)를 상대로 제기한 베벨 에처 장비 특허침해소송의 6차 변론기일이 9월17일 서울중앙지방법원 제62민사부에서 열렸다. 재판부는 변론을 종결하고 10월 판결을 선고하기로 했다. 램리서치는 2021년 피에스케이의 베벨 에처가 자사 특허를 침해했다며 손해배상금과 장비 폐기를 요구했고, 피에스케이는 특허무효 소송으로 맞대응했다. 이날 재판에서는 핵심부품 도면 일부가 공개된 것으로 전해졌다.
장비·소재·부품램리서치-비씨엔씨 엣지링 디자인권 소송, 선고 다음달로 연기
서울중앙지법 민사62부가 17일 램리서치가 비씨엔씨를 상대로 낸 디자인권 침해금지 청구소송의 변론기일을 열었다. 재판부는 손해배상액 산정 대상 제품 범위를 좁히면서 램리서치에 산정 근거를 구체적으로 제시하라고 요구했다. 비씨엔씨는 재산정된 품목이 실제 침해 제품인지 확인하기 어렵다고 반박했다. 앞서 재판부는 지난 6월 11일 변론을 종결하고 8월 13일 선고할 예정이었으나, 선고 하루 전인 8월 12일 석명준비명령을 내리며 선고를 미뤘고 다음달로 선고가 다시 잡혔다.
장비·소재·부품램리서치-월덱스, 식각장비 상부전극 특허 무효 공방
램리서치와 월덱스가 반도체 식각장비 상부 전극 특허(등록번호 2556016)를 두고 특허심판원에서 무효심판 구술심리를 진행했다. 월덱스는 상부 전극과 기판 사이 상관관계가 청구항에 명확히 기술되지 않아 특허성을 인정하기 어렵다고 주장했다. 램리서치는 해당 특허가 3D 낸드 등 최신 반도체 제조를 위한 고종횡비 식각 공정에 필요한 기술이며, 월덱스가 제시한 비교발명과는 다르다고 반박했다. 램리서치는 심판 과정에서 특허 일부를 정정했으며, 심판은 신속심판으로 진행 중이다. 앞서 월덱스는 램리서치의 다른 특허(무선주파수 접지 복귀 장치)에 대해 2025년 12월 무효 심결을 받았고, 램리서치는 2026년 1월 특허법원에 심결취소소송을 제기했다.
장비·소재·부품램리서치 프로세스챔버 특허 무효 확정 수순, PSK 소송 쟁점 축소
특허심판원은 램리서치의 베벨 에처 관련 '프로세스 챔버' 특허(등록번호 1468221)에 대해 무효 심결을 내렸다. 이 특허는 PSK가 2021년 SK하이닉스에 베벨 에처를 공급하자 램리서치가 제기한 특허침해소송에서 다투던 특허 중 하나로, 2026년 8월 서울중앙지법 변론기일에서 램리서치가 이미 침해 주장을 철회한 상태였다. 앞서 특허법원이 2024년 8월 이 특허를 무효로 판결하며 특허심판원에 환송했고, 램리서치의 정정심판 청구도 2026년 8월 기각됐다. 이에 따라 이번 무효 심결이 확정되더라도 전체 분쟁에 미치는 영향은 크지 않으며, 소송에서는 참엔지니어링의 '플라즈마 에칭 챔버' 특허(등록번호 1249247)만 쟁점으로 남았다.
램리서치·플라텍, 식각부품 특허침해소송 변론 종결
램리서치와 국내 애프터마켓 업체 플라텍이 식각장비 소모품인 전극 클램프 특허(등록번호 1708060)를 두고 벌인 침해소송 변론이 3일 서울중앙지법에서 종결됐다. 램리서치는 2021년부터 침해를 경고했음에도 계속됐다며 침해금지와 손해배상을 요구했고, 플라텍은 특허소진론을 내세워 반도체 고객의 부품 교체·수리에는 특허권을 행사할 수 없다고 맞섰다. 특허심판원은 지난 4월 해당 특허가 유효하다고 심결했고, 플라텍은 이에 불복해 특허법원에 심결취소소송을 제기한 상태다. 재판부는 10월에 1심을 선고할 예정이며, 램리서치는 플라텍 외에도 윌비에스엔티, 비씨엔씨, 월덱스, SHM, CMTX 등 국내 애프터마켓 업체들과도 유사한 특허 분쟁을 벌이고 있다.
장비·소재·부품램리서치, 오리건에 R&D 신설 — 인텔·마이크론 인근 공급망 강화
램리서치가 8월 26일(현지시간) 미국 오리건주 투알라틴 R&D 센터에서 신규 연구소 착공식을 열었다. 팀 아처 사장 겸 CEO와 세샤 바라다라잔 COO, 제프 머클리 연방상원의원, 토바이어스 리드 오리건주 국무장관, 인텔·마이크론 관계자 등이 참석했다. 새 연구소는 반도체 클러스터 '실리콘 포레스트' 내 주요 고객사 인근에 약 1만1100제곱미터 규모로 조성되며 2028년 개소할 예정이다.