장비·소재·부품티씨케이 특허 정정 받아, SiC 포커스링 두고 디에스테크노와 공방 지속
반도체 소재업체 티씨케이가 실리콘카바이드(SiC) 포커스링 관련 특허('888 특허)에 대해 특허심판원에 청구한 정정이 지난 7일 인용됐다. 포커스링은 반도체 식각 공정에 쓰이는 소모성 부품이다. 티씨케이는 2019년 디에스테크노를 상대로 특허침해소송을 제기했고, 디에스테크노는 티씨케이 특허 4건에 대해 무효심판과 소극적 권리범위확인심판을 청구하며 맞서왔다. '888 특허는 특허심판원과 특허법원을 오가며 무효·유효 판단이 엇갈렸고, 디에스테크노는 특허법원에 심결취소소송을 제기해 심리가 진행 중이다. 앞서 티씨케이가 와이엠씨·와이컴을 상대로 제기한 유사 특허침해소송은 2025년 합의로 종결됐다.
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