장비·소재·부품ZNTC 130nm 리소그래피 시제품 완성, 벨라루스 플라나르 공동개발
러시아 젤레노그라드 나노기술센터(ZNTC)가 200mm 웨이퍼, 130nm 공정용 포토리소그래피 장비의 3차 연구개발 단계를 완료했다고 CNews가 보도했다. 해당 장비는 내부 시험 단계에 있으며, 실제 양산 팹에 투입되려면 아직 수년이 더 필요하다. 보도에 따르면 리소그래피 시스템 자체는 벨라루스 기업 플라나르가 개발했고 레이저 광원은 라사드가 제작했으며, ZNTC는 전체 시스템 설계와 공정 모델링을 담당한 것으로 나타났다. 러시아 산업통상부는 이 개발 프로그램에 예산을 지원했다. 통상적인 리소그래피 장비 개발 주기를 고려하면 상업용 웨이퍼 생산은 2029년 이후에나 가능할 것으로 보인다고 전해졌다.
Tom's Hardware영문 원문