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ZNTC 130nm 리소그래피 시제품 완성, 벨라루스 플라나르 공동개발

Tom's Hardware2026-10-051분 읽기영문 원문
분야 자료 사진 — 단결정 실리콘 잉곳 · ArticCynda · CC0 (기사 원문의 사진이 아닙니다)

러시아 젤레노그라드 나노기술센터(ZNTC)가 200mm 웨이퍼, 130nm 공정용 포토리소그래피 장비의 3차 연구개발 단계를 완료했다고 CNews가 보도했다. 해당 장비는 내부 시험 단계에 있으며, 실제 양산 팹에 투입되려면 아직 수년이 더 필요하다. 보도에 따르면 리소그래피 시스템 자체는 벨라루스 기업 플라나르가 개발했고 레이저 광원은 라사드가 제작했으며, ZNTC는 전체 시스템 설계와 공정 모델링을 담당한 것으로 나타났다. 러시아 산업통상부는 이 개발 프로그램에 예산을 지원했다. 통상적인 리소그래피 장비 개발 주기를 고려하면 상업용 웨이퍼 생산은 2029년 이후에나 가능할 것으로 보인다고 전해졌다.

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#ZNTC#포토리소그래피#러시아 반도체#플라나르#130nm 공정

이 글은 원문을 요약한 큐레이션입니다. 제목은 요약에 맞춰 새로 붙였습니다. 수치와 단위는 원문 표기를 유지했습니다. 전체 내용은 원 매체에서 읽어 주세요.원문: Tom's Hardware 「Russian firm completes country's first 130nm-capable chipmaking tool, trails modern equipment by 25 years」

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삼성전자 M&A, LG전자 독자기술 — AI데이터센터 냉각 경쟁 심화

삼성전자와 LG전자가 AI 데이터센터 열관리 시장에서 서로 다른 전략을 택했다. 삼성전자는 AI 인프라 솔루션 기업 헬릭스와 데이터센터 공조 기업 플랙트 그룹을 인수해 고객망과 기술력을 빠르게 흡수하는 방식을 택했다. LG전자는 공랭식 대형 칠러 기술에 더해 냉각수 분배장치(CDU)로 국내 기업 최초 엔비디아 품질 인증을 획득, 칠러부터 콜드 플레이트까지 자체 수랭식 토털 솔루션을 구축했다. 액침냉각 분야에서는 SK엔무브, 미국 GRC와 협력 체계를 맺어 소재·장비 기술을 보완했다.

ZDNet Korea2026-10-05

씨케이솔루션, SK하이닉스 인디애나 패키징 공장에 드라이룸 공급

배터리 드라이룸 전문기업 씨케이솔루션이 반도체·데이터센터 분야로 사업을 확장하며 올해 5000억~6000억원 규모의 누적 수주 달성을 목표로 하고 있다. 미국 인디애나주 첨단 패키징 공장 프로젝트를 통해 SK하이닉스와 처음 거래를 시작했으며, 해당 계약 규모는 1477억원으로 올해 목표치의 30%에 해당한다. 업계에 따르면 씨케이솔루션이 올해 공시한 신규·증액 계약 규모는 약 3478억원으로 지난해 공시액 1013억원보다 3배 이상 늘었다. 수주 증가의 주요 배경으로 SK하이닉스 관련 프로젝트가 꼽힌다.

디일렉 반도체2026-10-02

에이온 팬서레이크 미니PC, AirJet 고체냉각으로 무소음 구현

산업·임베디드 컴퓨팅 업체 에이온이 인텔 코어 울트라 X7 358H를 탑재할 수 있는 팬리스 미니PC 'Up Xtreme PTL Edge Air'를 출시했다. 이 제품은 프로어(Frore)의 초음파 진동판 기반 고체 냉각 기술 AirJet을 적용해 21dBA 미만의 소음으로 작동하며, 기존 히트싱크·팬 냉각 모델보다 35% 더 얇고 43% 더 가볍다고 회사 측은 설명했다. 키오스크, 자율이동로봇(AMR) 하우징, 휴대용 의료기기 등 공간이 제한된 산업용 용도를 겨냥했으며 RS-232/422/485 COM 포트와 40핀 GPIO 등 산업용 I/O를 갖췄다. 다만 AirJet 냉각 적용으로 소비전력이 6% 늘고 동작 온도 범위가 -10°C~45°C로 좁아지는 트레이드오프가 있다고 밝혔다.

Tom's Hardware2026-10-01

PCBA 테스트 전략, 불량 예방 위한 장비 선택법 조명

EE Times는 전자제조업계에서 불량 제로 달성이 궁극적 목표라고 전하며, 오작동하는 PCBA(인쇄회로기판 조립체) 한 개만으로도 값비싼 리콜로 이어질 수 있다고 지적했다. 이에 따라 적합한 테스트 방법론과 테스터를 선택하는 것이 중요한 과제로 다뤄졌다.

EE Times2026-10-01

한국알콜그룹, 충남 예산에 반도체 소재 생산거점 결집

한국알콜그룹이 기존 주정·범용 화학제품 중심 사업구조를 반도체 소재 중심으로 전환하고 있다고 1일 업계가 전했다. 케이씨엔에이, 한국알콜산업, 이엔에프테크놀로지, 유비머트리얼즈, 팸테크놀로지, 퓨릿 등 계열사를 통해 반도체 소재 사업을 확대했으며, 계열사를 연결하는 생산·유통 밸류체인을 구축했다. 충남 예산에는 주요 소재 계열사를 집결한 생산거점도 구축하기로 했다. 한국알콜그룹은 고부가 반도체 제품 비중 확대가 실적 상승으로 나타났다고 설명했다.

디일렉2026-10-01

에코프로 사장단 인사, 최상운·김장우 대표 체제 가동

에코프로가 사장단 인사를 단행해 최상운 신임 사장과 김장우 전 에코프로비엠 경영대표의 공동 대표이사 체제로 전환한다고 밝혔다. 박종환 에코프로이엠 대표는 사장으로 승진해 에코프로에이치엔 신임 대표이사로 내정됐으며, 반도체 소재 역량 강화와 이차전지 소재 제조 경쟁력 강화를 추진할 계획이다. 송호준 에코프로 대표는 에코프로비엠 대표이사로 자리를 옮겨 이차전지 소재 중간 지주사 역할을 강화하고 에코프로이엠 대표도 겸직한다. 이번 인사는 예년보다 두 달 앞당겨 이뤄졌으며, 신임 대표이사들은 각사 이사회와 주주총회를 거쳐 정식 선임될 예정이다.

ZDNet Korea2026-10-01

SFA, 로봇 핸즈 도입해 물류 자동화율 95%로 — 반도체 팹 물류 확대

SFA가 레인보우로보틱스와 협력해 개발한 로봇 핸즈를 도입, 2028년까지 물류 공정 자동화율을 95%까지 끌어올리겠다는 목표를 제시했다. 박정현 SFA 그룹장은 현재 물류 자동화 수준이 90%이며, 석션 방식으로 집기 어려운 비정형 물건 피킹과 트럭 상하차 기술이 개발되면 95%까지 가능하다고 설명했다. 이날 충남 아산에 개관한 'SFA 아트 이노베이션 센터'는 레인보우로보틱스의 세미 휴머노이드 'RB-Y1'과 SFA의 AI 소프트웨어를 결합해 무인화 공정을 실증하는 거점이다. 김상경 SFA 대표는 반도체 업황 호조로 팹 투자가 늘면서 반도체 자동화 사업 규모가 올해 2배 이상 늘 것으로 전망했고, 올해 복수 대기업의 반도체 전공정 팹 시장에 리프터 기반 자동화 장비로 진입했다고 밝혔다.

ZDNet Korea2026-09-30

JSR, 오창서 EUV용 금속산화물 포토레지스트(MOR) 첫 생산

일본 JSR의 한국법인 JSR마이크로코리아가 9월 30일 청주 오창 외국인투자지역 내 반도체 소재 공장을 준공했다. 이 공장은 극자외선(EUV) 공정용 금속산화물 기반 포토레지스트(Metal Oxide Resist, MOR)의 최종 생산공정을 수행하며, JSR이 처음으로 마련한 EUV MOR 생산거점이다. JSR은 2021년 미국 인프리아를 인수한 뒤 MOR 사업화를 추진해왔다. MOR은 무기물 기반 포토레지스트로 유기물 기반 소재보다 식각 저항이 우수해 노광 공정에서 패턴 무너짐을 줄이고 미세 패턴 구현에 유리하다는 특징이 있다.

디일렉2026-09-30