장비·소재·부품Pt-W 합금, 하이-NA EUV 마스크 흡수체 신소재로 연구
중국과학원, 지린대학교, 광학시스템첨단제조 국가핵심실험실, 중국과학원대학교 공동 연구진이 Pt-W 합금을 차세대 저굴절률(low-n) EUV 마스크 흡수체 소재로 평가한 논문을 발표했다. 연구는 이 합금 박막의 물성과 이미징 성능을 분석해 하이-NA EUV 마스크 흡수체로서의 적용 가능성을 살폈다. 해당 논문 'Evaluating an alternative Pt-W alloy as a low-n EUV mask absorber: Film properties and imaging performance'는 iScience에 2026년 8월 게재됐다.
Semiconductor Engineering영문 원문