본문 바로가기

ChipBase한국어 반도체 데이터베이스

최근 소식 오픈소스 EDA 릴리스 보류 큐

장비·소재·부품

Pt-W 합금, 하이-NA EUV 마스크 흡수체 신소재로 연구

Semiconductor Engineering2026-10-251분 읽기영문 원문

분야 자료 사진 — 단결정 실리콘 잉곳 · ArticCynda · CC0 (기사 원문의 사진이 아닙니다)

중국과학원, 지린대학교, 광학시스템첨단제조 국가핵심실험실, 중국과학원대학교 공동 연구진이 Pt-W 합금을 차세대 저굴절률(low-n) EUV 마스크 흡수체 소재로 평가한 논문을 발표했다. 연구는 이 합금 박막의 물성과 이미징 성능을 분석해 하이-NA EUV 마스크 흡수체로서의 적용 가능성을 살폈다. 해당 논문 'Evaluating an alternative Pt-W alloy as a low-n EUV mask absorber: Film properties and imaging performance'는 iScience에 2026년 8월 게재됐다.

이 글에 나온 것

#EUV #하이-NA EUV #마스크 흡수체 #Pt-W 합금 #iScience

이 글은 원문을 요약한 큐레이션입니다. 제목은 요약에 맞춰 새로 붙였습니다. 수치와 단위는 원문 표기를 유지했습니다. 전체 내용은 원 매체에서 읽어 주세요.원문: Semiconductor Engineering 「Pt-W Alloy Shows Potential For Thinner High-NA EUV Mask Absorbers (Chinese Academy of Sciences et al.)」

Semiconductor Engineering 원문 보기 ↗

장비·소재·부품 소식 더 보기

실리콘 광변조기 200Gb/s PAM4, AI데이터센터 DSP 부담 완화

일본 도쿄과학대, 요코하마국립대, AIST, PETRA 공동연구팀이 실리콘 포토닉 크리스탈 웨이브가이드 기반 슬로우라이트 변조기를 개발해 관련 논문을 발표했다. 이 소자는 내장형 전기광학(EO) 등화기를 통해 기존 실리콘 마흐-젠더 변조기가 겪던 대역폭과 변조 효율 간의 트레이드오프를 해결했다고 밝혔다. 연구팀에 따르면 기존 변조기는 변조 효율이 낮고 길이가 수 밀리미터에 달해 고전압 드라이버와 전력 소모가 큰 디지털신호처리(DSP)가 필요했다. 이번 소자는 레인당 200G의 PAM4 신호를 구현하면서도 DSP 의존도를 낮춘 것이 특징이다. 해당 연구는 2026년 10월 Nature Communications에 게재됐다.

Semiconductor Engineering2026-10-25

이노디스크 GMSL2 카메라 키트, 로봇·차량 비전 통합 단축

이노디스크가 300만 화소 GMSL2 카메라 모듈 4개와 캡처 카드, FAKRA 케이블 등을 묶은 올인원 비전 솔루션 'GMSL2 Camera Starter Kit'를 출시했다. 이 키트는 멀티 카메라 기반 엣지 AI 비전 시스템에서 카메라, 캡처 카드, 드라이버, 호스트 플랫폼을 통합하는 데 걸리는 시간을 줄이는 것을 목표로 한다. 전체 카메라 소스 코드가 제공돼 NVIDIA Jetson Orin Nano Super Developer Kit 등에서 고객이 자체적으로 개발과 커스터마이징을 할 수 있다. 이노디스크는 대형 상용차 사각지대 감지와 ADAS, 휴머노이드 로봇·AMR의 객체 인식 등 다양한 엣지 AI 시나리오에 이 키트가 활용될 수 있다고 설명했다.

ZDNet Korea2026-10-23

저스템, 습도제어 솔루션 고도화로 2030년 매출 확대 추진

저스템이 창립 10주년 기념 워크숍에서 2030년까지 매출 3000억원을 달성하겠다는 비전을 발표했다. 이는 지난해 매출 369억원의 8배에 해당하는 규모다. 임영진 대표는 23일 경기 광주에서 열린 전직원 워크숍에서 차세대 기술과 전략적 제품군을 통한 성장을 강조했다. 회사는 습도제어 솔루션 제품 고도화, 차세대 솔루션 개발, 첨단 산업 혁신기술 창출, 신사업 개발, 제3공장 완공을 핵심 성장 전략으로 제시했다.

디일렉 반도체2026-10-23

기가비스, 469억 기판검사장비 공급 — 매출 89.51% 규모

기가비스가 23일 국내 반도체 기판 업체에 469억원 규모의 기판 검사장비를 납품하는 계약을 공시했다. 이는 기가비스의 지난해 매출 약 524억원의 89.51%에 해당하는 규모다. 계약 기간은 지난 22일부터 2026년 12월 31일까지이며, 선급금 10%를 받고 중도금 70%와 잔금 20%로 나눠 매출이 인식된다. 고객사명은 공개되지 않았으며, 기가비스의 국내 주요 고객사로는 삼성전기가 있다.

디일렉2026-10-23

대진기계, 에스엠국일에 인수 추진 — 반도체 잉곳성장기 생산업체

SM그룹 계열사 에스엠국일이 대진기계 인수를 위한 우선협상대상자로 선정됐다고 23일 밝혔다. 1980년 설립된 대진기계는 배터리 모듈·팩 조립 자동화 설비와 반도체 웨이퍼 제조용 잉곳 성장기를 생산해 온 기업이다. LG에너지솔루션에 ESS용 배터리 생산장비를 공급해왔으며 관련 매출이 전체 매출의 약 70%를 차지한다. 배터리 자동화 설비는 여러 배터리 셀을 모듈·팩으로 조립하는 공정에 쓰이며, 반도체 분야에서는 웨이퍼 원재료인 실리콘 단결정을 성장시키는 공정에 쓰이는 장비를 생산한다.

디일렉2026-10-23

씨아이에스케미칼, 폐배터리 광물 재활용 기술로 정부 표창

씨아이에스케미칼이 폐배터리 블랙매스와 리튬 함유 수용액에서 리튬·니켈·코발트를 회수·정제하는 기술로 산업통상부 장관 표창을 받았다. 이 회사는 지난 19일 서울 양재 엘타워에서 열린 '2026 대한민국 순환경제 페스티벌'에서 수상했다고 23일 밝혔다. 해당 기술로 배터리급 재생 탄산리튬과 재생 혼합수산화물(MHP)을 생산한다. 관련 기술은 지난해 4월 소재·부품·장비 핵심전략기술로 지정된 바 있다.

디일렉2026-10-23

TSMC, 희토류 없는 장비 추진 — 중국 수출통제 리스크 대비

TSMC가 로이터 보도에 따르면 희토류 자석을 사용하지 않는 반도체 제조장비를 확보하기 위해 장비 공급업체들과 접촉하고 있다. 팹 내 자동화 설비에 쓰이는 모터는 네오디뮴 등 희토류 영구자석에 의존하는데, 중국이 희토류 채굴·정제·자석 생산의 상당 부분을 장악하고 있어 수출통제에 따른 공급 차질 우려가 커졌다. 중국은 2025년 4월과 10월 희토류 및 관련 기술에 대한 수출통제를 확대했으며, 10월 확대 조치는 유예된 뒤 추가로 90일 연장됐다. 대만 정부는 미국과 협력해 자국 내 희토류 생산 역량을 구축하는 방안을 추진 중이다.

Tom's Hardware2026-10-22

HPSP, 김재현 신임 대표 선임 — 장비 R&D 전문가 영입

HPSP가 22일 경기 화성 본사에서 임시주주총회를 열고 김재현 전 한화세미텍 대표를 신임 대표로 선임하는 안건을 상정해 96.3% 찬성으로 가결했다. 이에 따라 HPSP는 이기두 대표와 김재현 신임 대표의 각자대표 체제로 전환됐다. 김 신임 대표의 임기는 2년 5개월이다. 그는 어플라이드머티어리얼즈코리아, 삼성전자, 램리서치, 원익IPS를 거친 반도체 장비 전문가이며, HPSP는 그와 함께 반도체 장비 연구개발(R&D)에 속도를 낼 계획이다.

디일렉 반도체2026-10-22