신성이엔지, 장비 내부만 국소 제습 — 삼성전자와 내년 실증

신성이엔지가 장비용 제습 모듈(EDM) 3세대 제품을 연내 개발 완료할 계획이다. 내년에는 삼성전자와 협력해 전력 소모를 개선한 신규 설비를 실증할 예정이다. 김동권 신성이엔지 클린환경연구실장 전무는 클린룸 전체가 아니라 웨이퍼가 실제 노출되는 장비 내부의 좁은 공간만 정밀 제습하는 '국소 환경 제어'가 차세대 반도체의 해답이라고 강조했다.
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