"클린룸"
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원익로보틱스, 삼성 팹 로봇 PoC — 클린룸 신뢰성이 관문
원익로보틱스가 삼성전자 등 주요 반도체 업체와 바퀴이동형 로봇의 기술 검증(PoC)을 진행 중이다. 김민철 원익로보틱스 전무는 15일 서울 강남 조선 팰리스에서 열린 반도체산업협회 첨단센서포럼에서 이같이 밝혔다. 삼성전자 최종 공급은 작동 여부 확인, 신뢰성 검증을 포함한 3단계 검증을 거쳐 결정된다. 신뢰성 검증 단계에서는 웨이퍼 취급 과정에서 발생할 수 있는 미세 진동과 먼지 등 변수에 대응할 수 있는지를 확인한다.
세보엠이씨, 클린룸 매출 52% 증가 — 삼성·SK 투자 훈풍
디일렉이 국내 주요 반도체 클린룸 상장사 6곳의 올해 상반기 실적을 비교한 결과, AI 확산에 따른 반도체 시설투자 확대로 실적이 크게 개선된 것으로 나타났다. 매출 증가율 상위 5개 기업은 세보엠이씨, 신성이엔지, 엑사이엔씨, 한양이엔지, 케이엔솔 순이었다. 가장 큰 폭으로 성장한 세보엠이씨의 상반기 매출은 약 5357억7000만원으로 전년 동기 3527억7000만원 대비 51.88% 늘었고, 영업이익은 338억6000만원으로 199억원 대비 70.15% 증가했다.
마이크론, JDI 모바라팹 인수 검토 — 패키징용 클린룸 확보 목적
일본 JDI가 2026년 3월 가동을 중단한 모바라 공장 매각과 관련해 미국 마이크론과 여러 데이터센터 업체, 한국 반도체 기판 업체 등이 인수 의향을 보인 것으로 파악됐다. 모바라 공장은 과거 6세대 LCD·OLED를 생산하던 곳으로, 반도체 전공정에는 적합하지 않지만 데이터센터나 유리기판 등 후공정 패키징 용도로 활용이 검토되고 있다. 새 공장을 짓고 인허가를 받는 데 걸리는 시간을 단축할 수 있다는 점이 인수 관심의 배경으로 꼽힌다. JDI는 모바라 공장 외에 이시카와 공장 등도 나눠 매각하는 방안을 검토 중이며, 이시카와 공장에는 미국 올레드웍스가 관심을 보이고 있다. 모바라 공장에서 개발된 e립(eLEAP) 관련 장비는 대부분 중국 HKC가 매입했다.
한양이엔지, 삼성전자 평택 P5 클린룸 배관 수주
한양이엔지가 삼성전자 평택캠퍼스 P5 반도체 공장 건설 관련 공사 계약을 삼성물산과 체결했다고 7일 공시했다. 계약 규모는 1480억5900만원으로 지난해 매출의 13.24% 수준이다. 공사 대상은 P5 1단계(페이즈1) 클린룸 일반배관 1공사구역이며, 초순수·화학물질·산업용 가스·냉각수 등을 생산라인 설비로 공급·배출하는 배관망을 설치하는 작업이다. 한양이엔지는 삼성물산과 최근 3년간 동종 계약을 맺어온 것으로 나타났다.
장비·소재·부품신성이엔지, 장비 내부만 국소 제습 — 삼성전자와 내년 실증
신성이엔지가 장비용 제습 모듈(EDM) 3세대 제품을 연내 개발 완료할 계획이다. 내년에는 삼성전자와 협력해 전력 소모를 개선한 신규 설비를 실증할 예정이다. 김동권 신성이엔지 클린환경연구실장 전무는 클린룸 전체가 아니라 웨이퍼가 실제 노출되는 장비 내부의 좁은 공간만 정밀 제습하는 '국소 환경 제어'가 차세대 반도체의 해답이라고 강조했다.
텔인캠프 1기, 클린룸 참관·장비 실습 결합한 인재 교육
도쿄일렉트론코리아가 반도체 인재 양성 프로그램 '텔인캠프' 1기를 26일부터 27일까지 이틀간 운영했다고 28일 밝혔다. 산학협력을 맺은 8개 대학의 이공계 3~4학년 학생 40명이 참여했다. 프로그램은 회사 소개, 연구개발센터 클린룸 참관, 트레이닝센터 장비 실습, 현직 엔지니어 멘토링 등으로 구성됐다. 첫날 프로그램은 화성사무소와 R&D센터 'TTCK-2'에서 진행됐다.
