핀펫

채널을 지느러미처럼 세워 게이트가 세 면을 감싸게 만든 구조. 평면 구조의 누설전류 한계를 넘기 위해 도입됐다.

트랜지스터가 미세화되면서 게이트가 채널 아래쪽까지 전기적으로 제어하지 못해, 꺼야 할 때도 전류가 새는 누설전류 문제가 커졌다. 채널을 눕혀 놓고 위에서만 게이트를 얹는 평면 구조로는 이 문제를 근본적으로 해결하기 어려웠다. 핀펫은 채널 자체를 얇은 지느러미 모양으로 세워, 게이트가 위쪽과 양옆까지 세 면에서 감싸도록 만들어 채널 전체를 더 강하게 틀어쥔다. 이렇게 전기적 제어력이 높아지면 문턱전압 아래에서도 새던 전류가 줄고, 트랜지스터를 켜고 끄는 경계가 뚜렷해진다. 설계자가 표준셀 라이브러리나 파운드리 공정설계키트를 볼 때 핀 개수나 핀 피치 같은 파라미터로 이 구조를 마주치게 되며, 채널 폭을 연속적으로 조절하지 못하고 핀 개수 단위로만 조절할 수 있다는 점이 평면 구조와 가장 다른 설계상의 제약이다. 다만 핀펫도 누설전류를 완전히 없애지는 못하며, 미세화가 더 진행되면 게이트가 채널을 네 면 모두 감싸는 게이트올어라운드 구조로 발전하게 된다.