기가포톤, ArF 레이저 네온 재활용 시스템 출시로 공급망 안정화

일본 반도체 리소그래피 장비업체 기가포톤이 ArF(불화아르곤) 엑시머 레이저용 네온 가스 재활용 시스템 hTGM을 공개하고 50%의 재활용률을 시연했다. 네온 가스는 DUV 공정에 주로 쓰이는데, 2022년 러시아의 우크라이나 침공으로 우크라이나산 네온 공급이 끊기면서 반도체 업계의 공급망 우려가 커진 바 있다. 기가포톤은 기존 KrF(불화크립톤) 레이저용 재활용 기술을 ArF 레이저로 확장했다고 밝혔다. 같은 일본 기업 칸켄테크노는 9월 초 세미콘 타이완에서 90% 이상의 재활용률을 보이는 네온 재활용 시스템을 선보인 바 있다. 삼성전자와 SK하이닉스는 2024년부터 네온 가스 재활용을 도입한 주요 메모리 제조사로 꼽힌다.

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