반도체·디스플레이 배출계수 114건, IPCC 국제DB에 국내 최초 등재

한국환경산업기술원은 KTR, 세종대학교, 에코에이블, 이엘 등이 참여한 연구를 통해 반도체·디스플레이 산업현장 실측 데이터를 반영한 온실가스 배출계수 80건과 감축계수 34건, 총 114건을 개발했다고 16일 밝혔다. 이 계수들은 지난 7월 IPCC 배출계수 데이터베이스(EFDB)에 국내 최초로 등재돼 각국이 참고할 수 있는 자료로 제공되고 있다. 감축계수는 연소식·플라스마식 스크러버의 가스 종류와 운전조건별 저감효율을 반영했고, 배출계수는 반도체 식각공정에 쓰이는 CF4·C4F6·C4F8 등 불소계가스의 공정파괴율과 부생가스 발생비율을 반영했다. 연구진이 개발한 계수를 적용하면 기존 국제 기본계수를 사용했을 때보다 온실가스 배출량 산정값이 약 26% 낮게 나타났다. 연구는 2022년부터 진행됐으며 기후에너지환경부의 신기후체제대응 환경기술개발사업 지원으로 수행됐다.

이 글에 나온 것