ASML, 머스크의 FEL 대신 1000W LPP 광원 강화

ASML은 EUV 노광 광원으로 액체 주석 방울에 레이저를 쏴 플라즈마를 만드는 LPP(레이저생성플라즈마) 방식을 쓰고 있으며, 입자가속기 기반의 자유전자레이저(FEL) 방식은 채택할 계획이 없는 것으로 알려졌다. JP모건 노트를 인용한 Semi Doped 보도에 따르면 ASML은 레이저 기술 발전을 근거로 일론 머스크가 지지하는 FEL 방식을 시도할 이유가 없다고 본다. ASML은 LPP 광원 출력을 기존 약 250W에서 약 500W로 높였고, 향후 1000W까지 끌어올리는 한편 초당 생성하는 주석 방울 수도 약 10만 개로 늘릴 계획이다. FEL은 주석 방울과 그로 인한 이물질 문제를 없애고 이론적으로 더 높은 출력을 낼 수 있지만, 대형 입자가속기와 방사선 차폐, 복잡한 빔 분배 시스템이 필요해 반도체 양산 수준의 가동률과 비용 구조를 갖추기까지는 시간이 걸릴 것으로 전망된다.

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