테라팹 ASML EUV 장비 입고, 인텔 14A 공정 적용 예정

팀 컬판 기자는 일론 머스크의 테라팹이 2027년 중반 ASML로부터 첫 EUV 리소그래피 장비를 받을 것이라고 보도했다. SemiAnalysis에 따르면 테슬라 기가텍사스 노스캠퍼스에 짓는 개발용 팹 건물은 2027년 말에야 완공되고 장비 반입은 그 이후에 이뤄져, 장비가 한동안 대기 상태로 놓일 것으로 예상된다. 테라팹은 인텔의 14A 공정을 활용할 예정이며, 이 공정은 기존 Low-NA EUV 스캐너와 차세대 High-NA EUV 장비를 모두 사용한다. 머스크는 자유전자레이저(FEL) 광원 방식을 언급한 바 있지만, 테라팹의 1세대 생산은 전통적인 장비에 의존할 것으로 보인다. SpaceX는 2026년 8월 초 텍사스 그라임스 카운티를 테라팹 양산 팹 부지로 선정했으며, SemiAnalysis는 이 양산 팹이 2029년 말 가동을 시작해 2030년 중반 양산 체제에 들어갈 것으로 전망했다.

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