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PSK, 램리서치와 베벨에처 특허소송 승소 — 쟁점특허 비침해 판결

ZDNet Korea2026-10-221분 읽기

분야 자료 사진 — 단결정 실리콘 잉곳 · ArticCynda · CC0 (기사 원문의 사진이 아닙니다)

서울중앙지방법원이 22일 램리서치가 PSK를 상대로 제기한 베벨 에처 특허침해소송에서 원고 패소 판결을 내렸다. 램리서치는 2021년 소송을 제기하며 특허 6건 침해를 주장했으나, PSK가 그중 5건을 무효화했고 마지막 쟁점특허 1건에 대해서도 비침해 판결을 받았다. 쟁점특허는 참엔지니어링의 '플라즈마 에칭 챔버' 특허로, 웨이퍼 테두리를 정밀하게 깎는 챔버 구조에 관한 기술이다. 재판 과정에서 램리서치는 PSK의 베벨 에처 '프레시아'에서 특허 구성요소가 도출된다고 주장했지만, PSK는 관련 수치가 영업비밀이라며 공개를 거부했다. 램리서치는 이번 판결에 항소할 수 있다.

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램리서치 PSK #PSK #램리서치 #베벨에처 #특허소송 #SK하이닉스

이 글은 원문을 요약한 큐레이션입니다. 제목은 요약에 맞춰 새로 붙였습니다. 수치와 단위는 원문 표기를 유지했습니다. 전체 내용은 원 매체에서 읽어 주세요.원문: ZDNet Korea 「PSK, 램리서치 상대 베벨에처 특허침해소송 승소」

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TSMC, 희토류 없는 장비 추진 — 중국 수출통제 리스크 대비

TSMC가 로이터 보도에 따르면 희토류 자석을 사용하지 않는 반도체 제조장비를 확보하기 위해 장비 공급업체들과 접촉하고 있다. 팹 내 자동화 설비에 쓰이는 모터는 네오디뮴 등 희토류 영구자석에 의존하는데, 중국이 희토류 채굴·정제·자석 생산의 상당 부분을 장악하고 있어 수출통제에 따른 공급 차질 우려가 커졌다. 중국은 2025년 4월과 10월 희토류 및 관련 기술에 대한 수출통제를 확대했으며, 10월 확대 조치는 유예된 뒤 추가로 90일 연장됐다. 대만 정부는 미국과 협력해 자국 내 희토류 생산 역량을 구축하는 방안을 추진 중이다.

Tom's Hardware2026-10-22

HPSP, 김재현 신임 대표 선임 — 장비 R&D 전문가 영입

HPSP가 22일 경기 화성 본사에서 임시주주총회를 열고 김재현 전 한화세미텍 대표를 신임 대표로 선임하는 안건을 상정해 96.3% 찬성으로 가결했다. 이에 따라 HPSP는 이기두 대표와 김재현 신임 대표의 각자대표 체제로 전환됐다. 김 신임 대표의 임기는 2년 5개월이다. 그는 어플라이드머티어리얼즈코리아, 삼성전자, 램리서치, 원익IPS를 거친 반도체 장비 전문가이며, HPSP는 그와 함께 반도체 장비 연구개발(R&D)에 속도를 낼 계획이다.

디일렉 반도체2026-10-22

PVTW 특성평가, ATE와 SLT 결합해 워크로드 변수 측정

반도체 업계에서 공정·전압·온도(PVT) 중심의 전통적 특성평가에 워크로드를 추가한 'PVTW' 개념이 제시됐다. 이는 자동검사장비(ATE)의 전기적 정밀 제어와 시스템레벨테스트(SLT)의 실제 동작 환경을 결합한 하이브리드 구조로, ATE 단독·SLT 단독·결합 모드 세 가지로 동작한다. 예시로 ATPG 기반 SHMOO에서는 0.72V까지 정상 동작하던 소자가 SRAM 집약적 워크로드 조건에서는 0.76V부터 오류를 보이는 등, 워크로드에 따라 전압 여유도가 달라지는 현상을 포착할 수 있다. 이를 통해 워크로드와 서브시스템, 전기적 마진을 연결 지어 특성평가하고 양산 이후 발생하는 간헐적 오류의 원인을 분석하는 데 활용할 수 있다.

Semiconductor Engineering2026-10-22

KDIA·KOSA, 디스플레이 소부장 AI행사 개최 — 중기 AX 지원

한국디스플레이산업협회(KDIA)가 한국인공지능소프트웨어산업협회(KOSA)와 공동으로 22일 서울 스페이스쉐어에서 '2026 AX Connect day: Display & Manufacturing'을 개최했다. 디스플레이 소부장 분야 중소·중견기업의 AI 도입 초기 진입장벽을 낮추기 위한 행사로, 디스플레이 AI 적용 사례 발표와 AI 솔루션 활용방안 제시가 이뤄졌다. 약 60개사가 참여했으며 제조기업과 AI 기업 간 비즈니스 매칭 교류회 형태로 진행됐다.

KIPOST2026-10-22

선익시스템, 평택 신공장 준공 — OLED·OLEDoS 장비 생산거점 확충

선익시스템이 경기 평택 브레인시티에 신공장 준공을 완료했다고 22일 밝혔다. 지난 7월 A동 사용 승인에 이어 B동까지 완공해 전체 생산거점 구축을 마쳤으며, 수원 본사보다 약 4배 큰 규모다. 평택 브레인시티는 대지면적 2만2628㎡, 전체 계획 연면적 1만5756㎡로, 8.6세대 OLED와 OLEDoS, 페로브스카이트 장비 생산 거점으로 활용된다. OLED 분야는 IT용 패널 중심의 대면적 증착장비 수요에 대응하고, OLEDoS 분야는 확장현실(XR) 기기용 수요에 대응할 계획이다.

디일렉2026-10-22

선익시스템, 평택 공장 준공 — 디스플레이·올레도스 증착장비 생산 확대

선익시스템이 22일 평택 브레인시티 신공장 준공을 발표했다. 신공장은 디스플레이와 에너지 분야 증착장비 생산거점으로, 회사는 디스플레이·올레도스(OLEDoS)·페로브스카이트 시장의 중장기 성장에 대비한 생산기반을 마련했다고 밝혔다. 디스플레이 분야는 IT 제품용 대면적 OLED 증착장비 수요를, 올레도스는 XR 기기·스마트글래스용 초고해상도 증착 기술 수요를 기대 요인으로 들었다. 페로브스카이트 태양전지 분야는 상용화와 생산규모 확대에 따른 장비 수요에 주목한다고 설명했다. 회사는 건식 증착 기술 적용 범위를 넓히고 고객 투자 단계에 맞춰 장비 공급 역량을 강화할 계획이라고 덧붙였다.

ZDNet Korea2026-10-22

케이엔제이, CVD SiC 포커스링 증설 — 낸드서 D램까지 공급 확대

케이엔제이가 충청남도가 주최한 '제33회 충청남도 기업인대상'에서 우수기업인상을 수상했다. 이 회사는 반도체 식각 공정용 소모성 부품인 CVD SiC 포커스링을 주력으로 생산하며, 소재 생산부터 정밀가공, 품질검사까지 자체 수행 역량을 갖추고 있다. 글로벌 메모리 업체들의 선단공정 전환과 생산능력 확대에 따라 식각 공정용 소모성 부품 수요가 늘면서, 올해 9월 말 기준 연간 매출 환산 약 1400억원 수준의 SiC 생산능력을 확보했다. 회사는 기존 낸드 중심 공급 경험을 D램으로 확대하고, 해외 신규 고객 확보와 직경 500mm 이상 대구경 단결정 Si 부품사업 육성을 통해 사업 기반을 넓힐 계획이다.

ZDNet Korea2026-10-22

머크, 충북 음성에 몰리브덴 신소재 공장 개소 — 낸드용 전구체 공급

독일 화학기업 머크가 22일 충북 음성에 신규 몰리브덴(MoO2Cl2) 생산설비를 개소했다. 벤자민 하인 머크 일렉트로닉스 CEO는 이 설비가 향후 5년 내 반도체 소재 수요 급증에 대응하기 위한 선제 투자라고 밝혔다. 몰리브덴은 반도체 증착 공정에 쓰이는 차세대 전구체 소재로, 기존 전구체인 텅스텐보다 비저항이 낮아 칩 성능 향상에 유리하다. 빙 한 머크 일렉트로닉스 박막 소재 비즈니스 수석부사장은 몰리브덴이 3D 낸드에 먼저 채택됐으며 향후 D램과 첨단 로직 반도체로 채택이 확대될 것이라고 말했다. 머크의 한국 내 누적 투자 규모는 8억 2000만 유로에 달한다.

ZDNet Korea2026-10-22