imec CFET, 정렬 정밀도로 mCFET이 sCFET보다 먼저 상용화

imec은 A7 노드 이후 4.5트랙 이하 표준셀을 가능케 하는 CFET(complementary FET) 트랜지스터 구조 개발 현황을 소개했다. 이번 자료에서는 후면 컨택 모듈과, 나노시트·CFET 소자에서 다중 문턱전압을 구현하는 게이트 스택 집적 모듈 두 가지를 다뤘다. CFET은 p형·n형 트랜지스터를 수직으로 적층하는 구조로, 단일 공정으로 처리하는 모놀리식(mCFET)과 상하부를 별도로 패터닝하는 순차적(sCFET) 방식이 함께 연구되고 있다. imec은 정렬 정밀도 이슈로 인해 mCFET이 산업 적용에 더 빠르게 도달할 것으로 보고 있으며, 관련 연구는 유럽 NanoIC 파일럿 라인에서 진행 중이다.
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