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몰리브덴 준위상마스크, 저NA EUV 해상도 끌어올려

Semiconductor Engineering2026-09-111분 읽기영문 원문

분야 자료 사진 — 노광 공정 작업대 · UCL Faculty of Mathematical & Physical Sciences · CC BY 2.0 (기사 원문의 사진이 아닙니다)

국립양밍자오퉁대(NYCU)와 TSMC 연구진이 몰리브덴(Mo) 기반의 준위상전용마스크(quasi-POM)를 이용한 EUV 이미징 개선 논문을 발표했다. 전자기 시뮬레이션 결과, 기존 탄탈럼(Ta) 기반 흡수체 대비 이미지 대비가 최대 35% 향상되고 공통 초점창이 5배 넓어졌으며 최대 텔레센트리시티 오차는 92% 줄었다고 밝혔다. 이를 통해 모노폴 조명을 사용하는 0.33 개구수(NA) EUV 장비에서 12.5nm 하프피치 해상도 구현이 가능하다고 설명했다. 해당 연구는 2026년 8월 Optics Express에 게재됐다.

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TSMC #EUV #포토마스크 #TSMC #위상시프트마스크 #몰리브덴

이 글은 원문을 요약한 큐레이션입니다. 제목은 요약에 맞춰 새로 붙였습니다. 수치와 단위는 원문 표기를 유지했습니다. 전체 내용은 원 매체에서 읽어 주세요.원문: Semiconductor Engineering 「Molybdenum Quasi Phase-Only Masks Improve EUV Imaging (NYCU, TSMC)」

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아스플로, 미국 대형 장비사 품질인증 획득 — 부품 공급망 확대

아스플로가 반도체 가스 배관·밸브 부품 업체로서 세계 3대 반도체 장비 기업인 미국 L사의 품질경영시스템(QMS) 감사를 통과했다. 이에 따라 10월부터 L사 장비에 들어가는 부품을 출하할 예정이다. 그동안 반도체 공장용 고순도 가스 배관과 밸브를 주로 공급해온 아스플로가 장비 내부 핵심 부품 시장으로 사업 영역을 넓히는 것이다. 증권가에서는 이번 장비 부품 시장 진입과 기존 사업의 고객사 확대를 근거로 아스플로의 내년 매출이 올해 대비 약 두 배 성장할 것이라는 전망을 내놓고 있다.

디일렉 반도체2026-09-29

테스토코리아 평택 측정 체험센터 개소, 반도체 클러스터 인접 거점

측정기술기업 테스토의 한국지사 테스토코리아가 9월29일 경기 평택에 측정 체험센터(Testo Business Lounge)를 열었다고 밝혔다. 이 센터는 삼성전자 평택캠퍼스 등 반도체 클러스터와 경기 남부 첨단 제조벨트에 인접해 있으며, 아산·천안권 산업단지까지 당일 기술 지원이 가능한 거점으로 마련됐다. 테스토코리아는 실제 산업 설비 환경을 재현한 실환경 데모 공간으로 체험센터를 조성했다고 설명했다.

디일렉2026-09-29

슈퍼마이크로, NVL72용 베라루빈 랙 출하 — DLC-2 수냉 적용

슈퍼마이크로컴퓨터가 엔비디아 베라 루빈 NVL72 랙을 자사의 데이터센터 빌딩 블록 솔루션(DCBBS)과 자체 개발 직접 수냉식 냉각 기술 스택 DLC-2를 통합해 출하한다고 밝혔다. 회사 측은 이 랙이 직접 수냉식 냉각 기술을 기반으로 설계돼 공냉식 냉각만으로는 달성하기 어려운 수준의 와트당 AI 처리 성능을 구현한다고 주장했다.

디일렉2026-09-29

SK하이닉스, 심텍에 우수협력사상 — AI용 SOCAMM2 대응력 인정

심텍이 SK하이닉스가 주관한 2026 SK하이닉스 파트너스데이에서 우수협력사상을 수상했다고 29일 밝혔다. 인공지능(AI)용 SOCAMM2 적기 대응과 품질 경쟁력 강화 공로를 인정받았다. 파트너스데이는 SK하이닉스가 협력사에 감사의 뜻을 전하기 위해 마련한 행사로, 동반 성장에 기여한 우수협력사를 선정해 상을 수여한다. 심텍은 과거에도 여러 차례 우수협력사상과 최고품질공급자상을 수상한 바 있다.

디일렉2026-09-29

OCI, 반도체 웨이퍼 소재 앵커기업으로 전북 특화단지 합류

OCI가 전북 군산·익산·완주 지역 반도체 화학소재 소부장 특화단지의 앵커기업으로 참여한다고 29일 밝혔다. 앵커기업은 투자와 기술개발, 공급망 구축을 주도하는 선도 기업을 뜻하며, 정부·지방자치단체·연구기관·협력사와 함께 지역 산업 생태계를 구성한다. 앞서 산업통상자원부는 지난 17일 제18차 소부장 경쟁력강화위원회에서 이 지역을 제3기 반도체 화학소재 특화단지로 선정했고, 향후 5년간 정부 지원 약 450억원과 민간 투자 약 8300억원을 추진할 계획이다. OCI는 군산 공장에서 반도체 웨이퍼 원료를 생산하고 있다.

디일렉2026-09-29

테스토코리아, 평택 측정 장비 체험공간 신설 — 삼성 반도체단지 인근 거점

측정 기술 기업 테스토의 한국지사 테스토코리아가 경기도 평택에 '측정 체험센터(Testo Business Lounge)'를 열었다고 29일 밝혔다. 이 센터는 삼성전자 평택캠퍼스가 위치한 반도체 클러스터와 경기남부 첨단 제조벨트에 인접해 있으며, 아산·천안권 산업단지까지 신속한 기술 지원이 가능한 위치에 자리했다. 센터의 특징은 실제 산업 설비 환경을 재현한 '실환경 데모 공간'을 갖춘 점이다.

KIPOST2026-09-29

캐스트롤 CORE, 엔비디아·인텔 검증 거친 데이터센터 냉각 솔루션

캐스트롤이 데이터센터용 통합 열관리 솔루션 'Castrol CORE'를 출시했다. 기존 제품 중심 냉각 사업에서 벗어나 설계·냉각 기술·테스트·수명주기 지원을 하나로 묶은 서비스형 모델로, 엔비디아와 인텔 등 주요 칩·하드웨어 제조업체와 공동 테스트 및 검증을 거쳤다. 영국·미국·독일·중국 연구소와 아시아 공동 연구소, 150여 개국 서비스 네트워크가 뒷받침하며, 중국의 한 데이터센터 운영업체와 개념 증명 프로그램을 완료하고 추가 프로젝트를 진행 중이다. 캐스트롤은 데이터센터 냉각을 시작으로 향후 다른 응용 분야로 솔루션을 확장할 계획이라고 밝혔다.

ZDNet Korea2026-09-29

MiTAC컴퓨팅, 마이크론 메모리 탑재 AI 서버 전시

MiTAC 컴퓨팅 테크놀로지가 싱가포르에서 열린 데이터 센터 월드 아시아 2026(부스 S110)에서 '에이전틱 AI 팩토리를 위한 다각화된 AI 인프라'를 주제로 AI 서버 4종을 전시했다. 메모리·스토리지 파트너인 마이크론과 협력해 Micron 9650 NVMe Gen 6 SSD, Micron 7600 NVMe Gen 5 SSD, Micron DDR5 RDIMM, Micron DDR5 MRDIMM을 적용한 결과물을 함께 선보였다. 행사 내 라이브 데이터 센터 쇼케이스에도 참여해 엔터프라이즈 서버와 실제 데이터센터 구축 환경을 전시했다.

ZDNet Korea2026-09-29