한울반도체가 일본 MLCC 제조사로부터 외관검사설비의 AI 성능 개선 사업을 수주했다고 12일 밝혔다. 그동안 국내 대형 MLCC 제조사 위주로 검사·공정설비를 공급해온 사업 구조를 해외로 확장하는 사례다. 해외에 설치된 기존 장비에 AI 기능을 추가하는 성능 개선 작업을 맡았으며, 고객사 증설 시 신규 검사장비 공급 기회도 확보했다. 한울반도체는 영상처리와 AI 딥러닝을 결합한 자체 검사 플랫폼 '하와이(HaWAIe)'를 개발해 미세 크랙 등 기존 방식으로 잡기 어려운 결함 검출에 활용하고 있다.
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슈나이더 일렉트릭이 AI 반도체 수요 증가로 커지는 전력·냉각 부담에 대응해 국내 반도체 팹을 위한 통합 인프라 전략을 11일 공개했다. 핵심 제품인 3상 UPS '갤럭시 VXL'은 500~1250kW 용량을 지원하며, 고효율 모드 '이컨버전'에서 최대 99%의 전력 효율을 제공하고 가동 중단 없이 전력 모듈을 교체하는 '라이브 스왑' 기능도 갖췄다. 냉동기·공조 설비 최적화와 AI 기반 자율운영 기술을 적용하면 유틸리티 부문에서 약 10%, 팹 전체에서 약 2.5%의 전력 절감 효과가 있을 것으로 기대된다고 밝혔다. 엔비디아 옴니버스와 ETAP의 전력 디지털 트윈 기술을 연계한 '그리드 투 칩' 접근도 함께 제시했으며, 같은 기술이 TSMC의 AI 팩토리 구축에도 활용되고 있다고 설명했다.
LG디스플레이가 파인메탈마스크(FMM) 없이 RGB OLED 서브픽셀을 노광 방식으로 패터닝하는 '플립'(FLiPP) 기술로 IT OLED 시장을 공략하겠다고 밝혔다. 지난해 7월부터 개발 중인 플립은 아직 기술 개발 단계로, 양산 시기는 정해지지 않았다. 회사는 앞으로 1년간 기존 화이트(W)-OLED와 LCD 설비를 그대로 쓸지, 개조할지, 새로 구축할지를 분류하는 작업을 진행할 계획이다. 최영석 CTO는 기존 FMM 방식으로는 IT OLED 시장 침투율을 늘리기 어렵다며, 플립을 노트북·모니터 등 IT 제품군에 우선 적용하겠다고 설명했다. LG디스플레이는 일본 JDI의 'eLEAP', 중국 비전옥스의 'ViP'와 콘셉트는 유사하지만 8세대 유리원장을 풀사이즈로 활용하는 방식은 자사가 유일하다고 강조했다.
반도체 소재업체 티씨케이가 실리콘카바이드(SiC) 포커스링 관련 특허('888 특허)에 대해 특허심판원에 청구한 정정이 지난 7일 인용됐다. 포커스링은 반도체 식각 공정에 쓰이는 소모성 부품이다. 티씨케이는 2019년 디에스테크노를 상대로 특허침해소송을 제기했고, 디에스테크노는 티씨케이 특허 4건에 대해 무효심판과 소극적 권리범위확인심판을 청구하며 맞서왔다. '888 특허는 특허심판원과 특허법원을 오가며 무효·유효 판단이 엇갈렸고, 디에스테크노는 특허법원에 심결취소소송을 제기해 심리가 진행 중이다. 앞서 티씨케이가 와이엠씨·와이컴을 상대로 제기한 유사 특허침해소송은 2025년 합의로 종결됐다.
산업용 AI 스타트업 미스릴이 국내 반도체 장비업체 S사와 세정장비용 AI 제품화 계약을 체결했다. 양사는 올해 2~3월 개념검증(PoC)을 진행해 양품 웨이퍼 51장과 불량 웨이퍼 4장의 데이터를 AI에 학습시킨 뒤, 학습에 쓰지 않은 시험 데이터 16건으로 성능을 확인했다. 이 결과를 토대로 4월 제품화 개발 계약을 체결했다. 미스릴은 올해 말까지 성능을 검증하고, S사는 내년부터 양산 장비에 해당 AI를 탑재할 계획이다.
버티브는 자사의 2.3MW 쿨칩 냉각수 분배 장치(CDU) 모델이 엔비디아 DSX 레디 CDU 요건을 충족했다고 8일 밝혔다. 엔비디아 DSX 레디 프로그램은 AI 팩토리를 구축하는 사업자가 DSX 요구사항에 맞는 전력·냉각 제품을 식별할 수 있도록 지원하는 프로그램이다. CDU 공급업체는 엔비디아의 CDU 자체 적격성 평가 도구를 활용해 자사 제품이 관련 기능 요구사항을 충족하는지 판단하며, 이번 충족 여부도 업체 자체 검증 방식으로 확인됐다.
램리서치가 경기도 오산·화성·용인 생산시설에서 15년간 제조한 반도체 장비용 챔버의 출하량이 1만5000호기를 달성했다고 8일 밝혔다. 챔버는 반도체 장비의 밀폐된 진공 공간 부품으로, 웨이퍼의 세정·증착·식각 등 공정이 실제 이뤄지는 곳이다. 램리서치는 국내 생산시설에서 증착 장비와 식각 장비를 제조·공급하고 있다. 지난해에는 국내 협력사로부터 1조원 이상의 제품과 서비스를 조달했으며, 약 100개 국내 기업과 공급망 네트워크를 구축했다. 협력사 상당수는 중소기업이다.
서울중앙지방법원은 8일 램리서치가 애프터마켓 업체 비씨엔씨를 상대로 제기한 에지 링 디자인침해소송에서 원고 일부 승소로 판결했다. 에지 링은 식각장비 내 플라스마가 웨이퍼 밖으로 나가지 않도록 가두는 소모성 실리콘 부품이다. 쟁점이 된 램리서치 디자인 2건(등록번호 1026248·1026250)은 특허심판원이 2026년 5월 유효로 심결했고, 비씨엔씨는 이에 불복해 2026년 8월 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 양사는 이와 별도로 램리서치 특허 3건을 두고도 분쟁 중이며, 특허심판원은 이 중 2건을 무효, 1건을 유효로 심결해 양측이 각각 특허법원에 불복 소송을 낸 상태다.
미국 램리서치가 한국에서 생산한 반도체 제조 챔버 1만5000호기를 출하했다고 8일 밝혔다. 램리서치는 경기도 오산·화성·용인 등 3개 생산시설을 중심으로 15년간 한국에서 제조 활동을 이어왔다고 설명했다. 회사는 하나벤처스와 공동으로 한국 전용 반도체 벤처투자 펀드인 '램리서치-하나 반도체 유니콘 펀드'를 출범해 국내 스타트업의 기술 검증과 사업화, 글로벌 진출을 지원할 계획이라고 밝혔다. 램리서치는 한국 내 약 100개 기업과 공급망 네트워크를 구축하고 있으며, 2025년 기준 한국 사업이 13조원 이상의 경제적 효과와 2만5000개 이상의 일자리 창출에 기여했다고 밝혔다.